Masspektrometer

Masspektrometri

RGA Processmätningar/övervakning

Våra masspektrometrar är innovativa lösningar för processövervakning, de är helt integrerade, applikaionspecifika paket, inklusive RGA och styrprogram.

  • CVD Processer
  • Diffusion
  • Etsar
  • Fotoresist-detektion
  • Gasanalys vid atmosfärstryck
  • Högtrycks-RGA
  • Jon-implantat
  • Läcksökning
  • PVD
  • Ultra High Vacuum (UHV)
  • Vacuum Baseline RGA
  • Vakuum Övervakning och e-diagnostik
  • Övervakning av transferkammare

RGA Vakuumläcksökning och analys

Residualgasanalysatorer kan vara ett mycket effektivt verktyg för att analysera gaslaster som följd av verkliga läckor, virtuella läckor eller urgasning av kammarväggar. RGA-detektorer har en rad fördelar jämfört med traditionella, dedikerade detektorer inklusive möjligheten att skilja mellan olika gas arter, jämförbara känslighetsnivåer för att upptäcka interna eller "virtuella" läckage och till att upptäcka och analysera utgasningsproblem. Vi erbjuder ett brett sortiment av RGA verktyg och stöd för programpaket som gör läcksökning och analys av processkammare snabbt och enkelt.