Processövervakning
HPQ3
Högtrycks residualgasanalysator för 0,001 Torr.
Residualgasanalys (RGA) är ett rutinmässigt diagnostikverktyg för alla vakuumingenjörer, men den traditionella övre arbetsgränsen på 1e-4 mbar totalt tryck är begränsande för många processapplikationer. HPQ3 RGA möjliggör drift upp till 0,001 Torr utan behov av differentiell pumpning.
Den beprövade teknologin i HPQ-analysatorn, i kombination med den senaste innovativa elektronikplattformen baserad på Microvision 2-familjen, ger datakvalitet som tidigare inte setts i denna klass av instrument. Det resulterande systemet är mindre komplext, kräver mindre installation och erbjuder högre tillförlitlighet till en betydligt lägre kostnad.
Nyckelfunktioner
- Övre arbetsgräns på 0,001 Torr totalt tryck
- Läckdetektion av vakuumledningar, kylmedelsledningar, svetsar och tätningar
- Övervakning av kammarföroreningar, inklusive kolväten
- Verifiering av processgasers kvalitet
Högtrycks-kvadrupolanalysator
Den nya RF-designen i HPQ3 täcker massområdet 1–100 amu utan att kompromissa med kvaliteten på gasseparationen vid mycket låga eller höga massor. Den beprövade designen för högtrycks-kvadrupolanalys i HPQ3 behåller den robusta och kostnadseffektiva jonkällan med dubbla filament. Detta möjliggör kontinuerlig drift utan att filament behöver bytas regelbundet före deras normala livslängd. HPQ3 kan användas för processer där data krävs upp till totalt tryck på 1,3 × 10⁻³ mbar.
Elektronik med brett dynamiskt område
Den patenterade elektroniken med brett dynamiskt mätområde möjliggör detektion av läckor eller kontaminanter på ppm-nivå, även när stora gassignaler mäts samtidigt i e-3 mbar-området. Detta är möjligt i en enda skanning eller peak-jump-insamling med mindre än 20 ms mellan max- och minsignal, utan behov av en dyr elektronmultiplikator som kräver frekvent kalibrering och utbyte.
- Systemet förhindrar att stora toppar orsakar falska positiva signaler på små toppar.
- Temperaturstabiliserade kritiska komponenter ger förbättrad signalstabilitet och minskad baslinjedrift, vilket gör att enheten kan användas utan frekvent omkalibrering om vakuumkammaren är stabil även när omgivningstemperaturen varierar.
- Variabla sensorinställningar anpassas till olika processbehov vid olika tryckförhållanden.
- Varje optimerad sensorkonfiguration lagras separat i RGA och återkallas eller omkalibreras automatiskt via mjukvarurecept.
- Flexibel digital och analog I/O finns, med standardiserad mätport för tryckgivare.
Inbyggd webbserver
Ett webbgränssnitt baserat på industristandard gör det möjligt att konfigurera och styra HPQ3 från valfri plats i nätverket. Via en webbläsare kan kalibrering, drift och export av realtidsdata utföras. Med dokumenterat SDK, ASCII-protokoll och TCP/IP-kommunikation kan tredjepartsprogram skicka och ta emot data från HPQ3 och HPQ3S.
Process Eye Professional
En Windows-baserad, omfattande mjukvaruplattform som ger full kontroll över alla RGA-parametrar:
- Receptstyrd styrning som möjliggör hög flexibilitet men enkel användning via EasyView-recept och Recipe Wizard.
- Möjlighet att koppla till andra system genom flera mekanismer såsom Modbus, ASCII, SECS-protokoll, seriell kommunikation, TCP/IP, filutbyte och många fler.
- Flexibilitet för att köra automatiserad och exakt optimerad datainsamling, kontroll av larmvillkor samt sluten reglering (closed-loop control).
TOOLweb® RGA
Ett specialiserat, nyckelfärdigt program för systemintegration (PC- eller serverbaserat) som ger optimerade metoder för att få tillförlitlig information från RGAs och andra sensorer i processutrustning:
- Fullständig integration av RGA-data med utrustningsdrift och FDC-system
- Nivåer av styrning från passiv vakuumövervakning till processkritisk start/stopp-kontroll av enskilda processkammare
- Kraftfull webbaserad rapportering som ger processingenjörer värdefull information för att hålla systemen i optimal driftprestanda från valfri plats i nätverket
