Generella tillämpningar
GE50A
Digitalt styrd massflödesregulator
GE50A finns tillgänglig med antingen RS485, Profibus™, EtherCAT® eller DeviceNet™ I/O. Den digitala styrelektroniken använder de senaste MKS-styralgoritmerna för snabb och repeterbar respons på börvärde över hela enhetens reglerområde. Typiska svarstider ligger runt 500 millisekunder. Digital kalibrering ger en noggrannhet på 1 % av börvärdet för kalibreringsgasen. I/O-protokollen är utformade för att göra det möjligt för GE50A att enkelt ersätta RS485- och DeviceNet-versioner av MKS 1179A MFC med mindre kodändringar.
Ett standard 3-tums fotavtryck möjliggör användning utan att modifiera befintliga gasledningskonfigurationer. GE50A innehåller få elastomerer – endast en extern elastomertätning och en elastomer ventilplugg. Alla vätskekontaktytor är av metall. GE50A levereras som standard med Viton®-tätningar eller som tillval med Buna, Neoprene® eller Kalrez® för att stödja olika gaskrav.
Applikationer
GE50A är en massflödesregulator för allmänt bruk som lämpar sig för ett brett spektrum av applikationer som kräver flödeskontrollkapacitet från 10 sccm till 50 slm full skala (N₂-ekvivalent).
Funktioner
- Patenterad termisk sensordesign för exceptionell nollstabilitet
- Noggrannhet i procent av börvärde möjliggör exakt processkontroll
- Inbyggt användargränssnitt – gör det enkelt att ändra enhetens mätområde och användargas samt övervaka och mäta prestanda
