Beläggningssystem
Q300T D Plus
Sekventiellt sputtersystem
Lämplig för flerskikts-sekventiell sputtring av två material, Q300T D Plus har två oberoende sputterhuvuden vilket möjliggör sekventiell sputtring av två metaller utan att bryta vakuum.
Systemet är helt automatiserat med användardefinierade recept som styr pumpsekvens, tid, antal sputtercykler samt ström under processen. Obegränsat antal lager med varierande tjocklek från två target-material kan sputtras sekventiellt genom att växla mellan båda targetsen. När systemet inte används skyddas targetsen av shutters mot kontaminering.
Substrat kan beläggas med icke-oxiderande (ädla) metaller såsom guld (Au) och platina (Pt). För beläggningar med fin kornstruktur kan även iridium (Ir) användas. Med högkvalitativt vakuumsystem kan Q300T D Plus även använda oxiderande metall-targets såsom krom (Cr) och aluminium (Al) för att producera fina filmer och beläggningar.
Q300T D Plus levereras som standard med ett krom-target (Cr) och ett guld-target (Au).
Nyckelfunktioner
- Kan uppnå vakuum ned till 5 × 10⁻⁵ mbar
- Ny pek- och swipe-kapacitiv skärm
- USB-port för uppgraderingar och nedladdning av processloggfiler
- Flera användarprofiler kan konfigureras i samma system
- Ny mjukvara sorterar recept per användare efter senaste användning
- 16 GB minne kan lagra över 1000 recept
- Flerfärgad LED-statusindikator
- Utbytbara stage-alternativ
- Tre sputterhuvuden för stor yta-deponering av olika material
- Enkelt huvudval för små prover
Rekommenderade applikationer
- Idealisk för flerskiktsbeläggning
- Adhesionsstudier
Specifikationer
Application notes
Relaterade dokument
Leverantör
Tillbehör

Sputter targets
We have a wide range of sputter targets for routine…

Carbon sources
Carbon supplies for most carbon evaporator systems, including coaters from…
