Baratron® kapacitansmanometerteknik
Kapacitansmanometrar är elektromekaniska mätare som kan mäta både tryck och vakuum. Kapacitansmätaren omvandlar en tryckmodulerad rörelse i ett tunt membran till en elektrisk signal proportionell mot trycket. Trycksensorn utgörs av det tunna membranet som exponeras för det tryck eller vakuum som mäts via inloppet. En elektrod är monterad i referenskammaren bakom membranet. Tryckskillnader mellan processen och referenskammaren böjer membranet svagt, vilket ändrar avståndet mellan det och elektroden. Variationer i detta avstånd ger variationer i kapacitansen mellan membranet och elektroden, vilket skapar en elektrisk signal proportionell mot tryckförändringen. Eftersom förändringar i kapacitanssignalen orsakas av fysiska förändringar i manometern och inte av förändringar i gasens egenskaper är tryckmätningar med kapacitansmanometer oberoende av den uppmätta gasens sammansättning.

Noggrannhet i procent av avläsningen
Noggrannheten anges som en procent av avläsningen (Reading), inte av fullskala (Full Scale) som i vissa enklare instrument. Noggrannhet uttryckt som procent av avläsningen ger en mer exakt utsignal vid lägre tryck i mätområdet, där det är som mest kritiskt.

Internt uppvärmd till 100 °C
Dessa kapacitansmanometrar är temperaturstyrda till 100 °C för förbättrad noggrannhet. Ouppvärmda versioner exponeras för variationer i omgivningstemperaturen, vilket kan försämra sensorns noggrannhet. Dessa enheter har sensorn innesluten i en volym som hålls vid en konstant temperatur över omgivningen. Denna lösning förbättrar manometerns noggrannhet och repeterbarhet samt minskar instrumentets drift genom att reducera eller eliminera processkontamination inom manometern. Uppvärmda manometrar rekommenderas för applikationer som kräver maximal noggrannhet och repeterbarhet, arbetar över omgivningstemperatur samt för processer som använder varma gaser.

Absolut tryckmätning
Dessa Baratron®-trycktransducers är refererade mot vakuum för absolut tryckmätning. Tillämpningar inkluderar: vakuumugnar, frystorkning av frukt och grönsaker, gaslasrar, testning av fordonskomponenter, flaskbeläggningar samt vakuumdestillation.

Helt i Inconel® vätskeberörda ytor
Dessa trycktransducers har en konstruktion helt i Inconel® i trycksensorn, vilket gör att den kan användas utan skador i praktiskt taget alla kemiska miljöer, inklusive exponering för halogener, avjoniserat vatten och ånga samt ozon.

0–10 VDC proportionell analog utgång
Dessa Baratron® kapacitansmanometrar har en hög nivå 0–10 VDC analog utsignal som är linjär med trycket. Denna analoga utsignal kan kopplas till en MKS tryckkontroller, ett MKS strömförsörjnings-/displayinstrument eller till valfritt instrument som uppfyller dessa krav.

Rekommenderas för etch-processer
MKS har implementerat lösningar i manometerns trycksensorelement för att minimera effekterna av processbiprodukter och processgaser. För processer som genererar stora mängder kondenserbara biprodukter rekommenderar MKS etch-baffelsensorn, som avsevärt minskar möjligheten för biprodukter att nå sensorn och därmed minimerar processinducerad nollpunktsdrift. För processer vid mycket låga tryck där fluorbränning är det huvudsakliga problemet rekommenderar MKS den fluorvänliga (FF) sensorn, som erbjuder optimal kort- och långtidstabilitet i fluorbaserad kemi.