Processövervakning
Vision 2000-P™
Restgasanalysatorer för selektivt tryck- och PVD-processer
Vision 2000-P™ representerar ett annat koncept för processövervakning som kräver minimal operatörsinteraktion eller RGA-kunskap. Den avancerade teknologin i Vision 2000-P ger användare enkel och effektiv processövervakning.
Vision 2000-P integrerar “smart head”-RGA-teknologi från Microvision 2 med en sluten jonkälla och ett nära kopplat inlopp. Denna avancerade RGA-teknologi är integrerad med Process Eye™ Professional-styrplattformen, ett receptbaserat och användarkonfigurerbart mjukvarusystem.
Nyckelfunktioner
- ppb-nivådetektion av kontaminantgaser under PVD-processer
- Spårning av processgasblandning när två gaser används
- Vakuumfelsökning för snabb återställning vid förebyggande underhåll
- Kan integreras med ett brett utbud av PVD-verktyg
- Remote Vacuum Controller (RVC) för felsäker PC-baserad drift och styrning
- Finns med Process Eye Professional-programvara
Sluten jonkälla
Varje Vision 2000-P innehåller en sluten jonkälla och en specialanpassad inloppsventil med optimerad hög konduktans och låg yta i flödesvägen till PVD-processkammaren. Med denna källa kan systemet övervaka hela PVD-processcykeln, från basvakuum upp till processtryck på upp till 0,01 mbar, utan behov av trycksänkande inlopp.
Genom att maximera förhållandet mellan processgassignaler och gasbakgrund i det differentiellt pumpade Vision 2000-P-analysatorhuset möjliggör den slutna jonkällan ppb-nivådetektion av spårkontaminanter i processgasen. Exceptionellt god detektion av restväte kan uppnås med högpresterande elektronik.
Remote Vacuum Controller (fjärrstyrd vakuumkontroller)
Varje Vision 2000-P-system innehåller en Remote Vacuum Controller (RVC)-modul som ger felsäkert skydd för både processverktyg och RGA.
Den möjliggör full drift och styrning av RGA-komponenter (filament, pumpar, inloppsventiler etc.) från system-PC. Den kompakta rackmonterade modulen innehåller RVC och strömförsörjning och kan monteras i standard 19-tums verktygsrack nära processkammaren eller annan lämplig plats. 10 m kablar ingår för flexibel placering av probsystemet.
Mobil RGA-plattform
Vision 2000-P kan monteras på en mobil RGA-plattform för enkel förflyttning mellan kammare vid behov. Plattformen har ett integrerat laptopbord och elektronik monterad på vagnen. Med en 3 m kabelsats kan systemet placeras flexibelt i förhållande till processkammaren.
Process Eye™ Professional styrplattform
Vision 2000-P använder Process Eye Professional, en flexibel modulär applikation som körs under 32- eller 64-bitars Windows XP, Vista, Server 2008 eller Windows 7. Plattformen är klient/server-baserad och använder TCP/IP för full nätverkskompatibilitet.
Process Eye Professional använder recept för att definiera hur instrumentet skannar, visar data och reagerar på insamlad information. Recept skapas via “Recipe Wizard” och lämpar sig för övervakning av återkommande processer.
Associerade stapeldiagram och nyligen insamlat spektrum lagras i en databuffert för enkel granskning. Recept kan länkas för att optimera övervakning av olika processfaser eller möjliggöra automatisk kalibrering via fördefinierade kalibreringsrecept.
Process Eye Professional möjliggör:
- Definiera data- och visningsparametrar samt on-line bearbetning
- Visa data samtidigt i “bar chart” och trendformat för tydlig analys
- Inkludera anpassade varningar och larm vid processavvikelser
- Övervaka andra parametrar som temperatur, gasflöde, effekt och tryck via analog och digital I/O
Dessutom erbjuder Process Eye Professional “live history” för snabb analys av trenddata där nyligen insamlade spektra kan granskas direkt.
Applikationer
Vision 2000-P är ett applikationsspecifikt processövervakningssystem utformat för att övervaka kontaminationsnivåer i halvledar- och tunnfilms-PVD-processer och varna för förhållanden som kan påverka produktutbyte negativt. Systemet optimerar även vakuumkvalitet genom:
- Kontaminationsövervakning, inklusive kolväten, ner till sub-ppm-nivå under PVD-processer
- Övervakning av restgaser, inklusive luft och vatten
