ESR-serien (Energy Saving Roots) är flerstegs torra vakuumpumpar utvecklade för användning i både rena och medeltunga processer såsom load lock, SEM, PVD, ashing, sputtring och etsning. ESR-serien täcker ett brett pumphastighetsområde från 120 till 3 000 m³/h och kännetecknas av lågt sluttryck.

De större modellerna ESR80WN, ESR200WN, ESR300WN och ESR500WN är kombinationer av en huvudpump med en extra boosterpump ovanpå. Båda pumparna är Roots-pumpar.

Pumpen är tillverkad av NiResist, en homogen stållegering med hög nickelhalt som är känd för sin överlägsna korrosionsbeständighet.

Nyckelfunktioner

• Låg ägandekostnad [ström, N2, vatten, fotavtryck, volym, vikt]
• Variabel pumphastighet för att matcha applikationskrav
• Avancerade styr- och övervakningsenheter
• Viloläge kan användas för ökad energibesparing

Tekniska egenskaper

• Flerstegs lobdesign utvecklad för användning i rena och medeltunga processer såsom load lock, SEM, PVD, ashing, jonimplantation och etsning
• Justerbar pumphastighet via varvtalsvariation
• Hög driftstemperatur som förhindrar kondensation och igensättning
• Högpresterande borstlösa DC-motorer
• Låg ljudnivå och låg vibration
• Fullt korrosionsbeständigt material