Process Sense™ TFS™-sensorn är en förbättring av den traditionella endpoint-tekniken baserad på icke-dispersiv infraröd (NDIR). Tunable Filter Spectroscopy (TFS) är en spektroskopisk teknik som kan generera en “miniskanning” och producera ett spektrumsegment i det infraröda området. Skanningen ger absorptionstoppar som används för att identifiera ämnen och bestämma koncentrationsvärden.

MKS Instruments plattform av innovativa optiska analysatorer baserade på Tunable Filter Spectroscopy (TFS™) ger realtids gasanalys och samtidigt en betydligt lägre total ägandekostnad. TFS™ kan användas från UV (ultraviolett) till IR (infrarött) spektralområde. MKS TFS™-sensorplattformar har funnits på marknaden sedan 2008 med mer än 2500 installerade system.

Nyckelfunktioner

• Minskar kammarrengöringstid och kostnad
• Noggrann bestämning av slutpunkt för kammarrengöring
• Minimerar partikelevents
• Ökar wafergenomströmning i CVD-verktyg
• Minskar förbrukning av NF₃