Behovet av att minska energianvändningen är en central fråga för hållbarhet. Tillverkare använder ett stort antal äldre torra vakuumpumpar. Beroende på processen kan vakuumsystemet ensamt stå för upp till 60 % av den totala elförbrukningen för ett processtool. Uppgradering av vakuumpumparna kan minska fabrikens energiförbrukning och spara pengar.

EBARA har utvecklat en ny och mer effektiv vakuumpump genom förbättrad motoreffektivitet, optimerat antal kompressionssteg, förbättrad motorstyrning samt tillägg av intelligent kommunikation, vilket avsevärt minskar energiförbrukningen hos torrpumpen. Detta leder till lägre driftskostnader och förbättrad lönsamhet för kunden.

Nyckelfunktioner

• Lägsta strömförbrukning: minskade användarens totala ägandekostnad och reducerade företagets koldioxidutsläpp
• Mindre vikt och dimensioner jämfört med tidigare modeller: användarvänlig
• Ingen N2-spolning i rena applikationer: inget kväve krävs
• Flexibel rotationshastighet och viloläge som standard: ytterligare energibesparing

Tekniska egenskaper

• Flerstegs lobdesign utvecklad för användning i rena och måttligt krävande processer såsom load lock, SEM, PVD, ashing, jonimplantation och etsning
• Huvudpump och boosterpump med energisnåla DC-motorer
• Intelligent styrsystem
• Låg ljudnivå och låg vibration
• Justerbar pumphastighet via varvtalsvariation
• Mycket kompakt fotavtryck
• Låg förbrukning av elektrisk energi, kylvatten och kväve
• Viloläge för ytterligare energibesparing