Modellerna ESA200W, ESA300W och ESA500W är rätt val för snabb evakuering av kammare med stor volym, såsom load lock- och transferkammare i FPD- och LCD-processystem.

Nyckelfunktioner

• Låg ägandekostnad [ström, N₂, vatten, fotavtryck, volym, vikt]
• Variabel pumphastighet för att matcha applikationskrav
• Avancerade styr- och övervakningsenheter
• Viloläge kan användas för ökad energibesparing