Baserad på designkonceptet för EFM 3-evaporatorerna har den tredubbla EFM 3T tre oberoende celler för evaporation av ett brett urval av material från tråd, stavar eller deglar.

De tre individuella cellerna har korsande strålar på cirka 93 mm avstånd från utgångsaperturen (254 mm från monteringsflänsen) för att säkerställa maximal överlappning av evaporationsområdet. Varje cell är utrustad med separat filament och högspänningsförsörjning för att förhindra korskoppling. Tre oberoende fluxmonitorer möjliggör kontrollerad stökiometrisk tillväxt av föreningar.

Nyckelfunktioner:

• Evaporationsområde Ø 8,5, 11 och 15 mm
• Arbetsavstånd 93 mm (±10 mm)
• 3 oberoende celler/filament/fluxmonitorer
• Ingen korskoppling vid sammansatt tillväxt
• Fluxmonitor
• Integrerad flerpositions-shutter
• Monteringsfläns NW 35 CF
• Alla övriga funktioner som EFM 3

Den integrerade flerpositions-shuttern möjliggör exakt dosering samt samtidig eller sekventiell evaporation för t.ex. supergitter eller multilager. Detta kan enkelt göras med valfri shutter-motorisering ochPC-programvaran Multi Epitass®.

Depositionens area styrs av valet av en av tre aperturer. De tre evaporationskällorna är individuellt monterade på tre 25 mm Z-justeringar för inriktning. Detta möjliggör evaporation från stavar med ett multi-pocket-system. Material kan enkelt fyllas på bakifrån (3× NW 16 CF).

En strömförsörjning kan driva alla tre celler sekventiellt. Vid co-evaporation kräver varje material en separat strömförsörjning.