Provbearbetning
K850WM
Stor-kammars kritisk-punkt-torkare
En kompakt bänkinstrument designat för kritisk-punkt-torkning av en komplett 6″/150 mm wafer. Levereras med en praktisk waferhållare som möjliggör snabb överföring och säkerställer att förtorkning inte sker.
Nyckelfunktioner
- Kammare med 170 mm diameter – optimerad för wafer- och MEMS-torkning
- Vertikal kammare med toppmatning och bottendränering – säkerställer att prover inte exponeras under torkning
- Termoelektrisk uppvärmning – exakt temperaturkontroll
- Finjusterad nålventil för tryckutsläpp – exakt kontroll av tryck
- Temperaturövervakning med termiskt skydd mot överhettning
- Tryckövervakning med säkerhetsavstängning vid övertryck
- Utökad garanti som tillval
K850WM har inbyggd uppvärmning och vattenkylning via E4860 recirkulerande värme-/kylsystem. Kombinationen ger temperaturkontroll från +5 °C kylning till +35 °C uppvärmning. Detta säkerställer att den kritiska punkten uppnås exakt och minimerar behovet av tryckavlastningsventiler.
Den vertikala kammaren möjliggör toppmatning av prov (t.ex. en wafer), och ett inspektionsfönster i topplattan gör det möjligt att observera kammaren och wafern under processen. Utbytesmekanismen är enkel och säkerställer att provet förblir under vätska under laddning.
Provhantering
6″/100 mm eller 8″/150 mm wafers hålls i en PTFE-hållbricka. Brickan inklusive wafern sänks ned i aceton för att avlägsna all fukt från provet. Efter dehydrering flyttas wafern och hållaren till den förkylda provkammaren med hjälp av wafer-transferenheten. När den kritiska punkt-torkningen är slutförd tas wafern ut ur kammaren med transferenheten innan vidare bearbetning.
Observera att E4860 recirkulerande värme-/kylsystem samt EK3102/EK3102-110V koldioxidkonditioneringssystem måste beställas tillsammans med K850WM.
