Industriella tillämpningar
P9B
Högpresterande tryckokänsliga, multigas-, multirange massflödesregulatorer för flödeshastigheter från 5 sccm till 50 slm.
P9B tryckokänslig, multigas-/multirange massflödesregulator har sub-750 millisekunders regleringstider och en noggrannhet inom 1 % av börvärdet över ett brett spektrum av processgaser, från “lätta” gaser som helium till “tunga” gaser som SF₆.
P9B är en äkta multirange-/multigas-MFC med kapacitet för 5 sccm till 50 slm fullskaleflöde, vilket minimerar behovet av lagerhållning av olika MFC-enheter.
Nyckelfunktioner
- Flödeshastigheter från 5 till 50 000 sccm
- Tryckokänslig med integrerad trycksensor
- Multigas/multirange med 1 % noggrannhet av börvärde
- Analog I/O: 0 till 5 VDC
- Digital I/O: DeviceNet, RS485
Kort processtegsprestanda
P9B:s prestanda blir snabbt tydlig i applikationer med korta processteg, tack vare sub-750 millisekunders kontrolltider och noggrannhet inom 1 % av börvärdet. Denna prestanda gäller över hela spannet av processgaser, från “lätta” gaser som helium till “tunga” gaser som SF₆. P9B är en äkta multirange-/multigas-MFC som ger användaren hög tillförlitlighet och minskar behovet av lagerhållning av olika MFC-enheter.
Multigas-/multirange-funktion
Användning av multigas-/multirange-funktionen förenklas via enhetens inbyggda mjukvara och standard Ethernet-gränssnitt, som inte kräver någon specialprogramvara utan endast en vanlig webbläsare och en PC. Kritiska gasparametrar för de flesta vanligt förekommande gaser inom halvledarindustrin är redan lagrade i enheten. Det räcker att välja gas och ange önskat fullskaleområde för att konfigurera enheten. Via samma gränssnitt kan användaren även utföra diagnostik och övervakning under drift.
P Series översikt
P-Series högprestanda MFC:er har en full digital styrarkitektur som möjliggör snabb respons på börvärden över hela arbetsområdet. Det inbyggda webbläsargränssnittet gör det enkelt att ändra gastyp och fullskaleområde, vilket minskar kostnader genom att reducera antalet olika MFC-modeller som behöver lagerhållas.
