FDG 15-jonkällan är konstruerad för att rengöra prover för ytanalyser, utföra enklare djupprofilering, fungera som exciteringskälla för ISS/LEIS-experiment samt som tillval ge långsamma joner (<15 eV), t.ex. för laddningsneutralisering i ESCA.

En mycket ren jonstråle säkerställs genom en icke linjesiktfilament (non line-of-sight filament), gasinlopp direkt in i joniseringskammaren samt effektiv differentiell pumpning. Joniseringen sker genom elektronbombardemang, vilket möjliggör kontinuerligt variabel strålkurrent från nA- till µA-nivå.

En dedikerad jonfokuseringsoptik gör det möjligt att reducera strålfläcken ned till 300 µm för sputtring av små kristaller och att anpassa systemet för stora arbetsavstånd upp till 300 mm.

Strömförsörjningen kan styras via frontpanel eller TCP/IP-gränssnitt och levereras med LabVIEW™-baserad programvara.

Nyckelfunktioner:

• Äkta differentiell pumpning
• Icke linjesiktfilament
• Integrerad port-justerare
• Upp till 300 mm arbetsavstånd
• Variabel strålfläckstorlek
• Integrated port aligner
• Jonström-mätning

Tillval:

Källan och strömförsörjningen kan uppgraderas med ett reglerat gasinlopp i kombination med sluten återkopplingsreglering för långsiktig stabilisering av jonströmmen.

Ett annat uppgraderingsalternativ är lågenergiläge som genererar <15 eV joner, t.ex. för laddningsneutralisering i ESCA.

För dedikerad djupprofilering finns FDG 150 tillgänglig.