974B QuadMag™ vakuumtransducer erbjuder ett mätområde från 1 × 10⁻⁸ till 1500 Torr och kombinerar kallkatodisk inverterad magnetron-, Micro Pirani™- samt piezodifferentialsensor-teknik. 974B har specifikt utvecklats för tryckmätning i vakuumloadlock. Den har kapacitet att ersätta flera tryckmätningsenheter i ett loadlock tack vare sin absoluta tryckmätning från atmosfär till 10⁻⁸ Torr samt funktioner för omkoppling vid atmosfärstryck. Detta gör det möjligt för OEM-tillverkare att reducera kostnader genom en förenklad loadlock-design.

Nyckelfunktioner

• Absolut mätning från 10⁻⁸ Torr till atmosfärstryck
• Kallkatodens anodmodul är användarservicemässig för att minska stilleståndstid
• MEMS-baserad Micro Pirani™-sensor möjliggör lågt automatiskt tillslagstryck för kallkatod
• Enkel användning via analog utgång samt RS232 och RS485
• Integrerad pekskärm som tillval för lokal tryckindikering
• Kompakt design med litet fotavtryck ger en utrymmeseffektiv transducerlösning