Industriella tillämpningar
GE250A & GE300A
Multigas-, multirange, elastomertätad massflödesregulator för flödeshastigheter på 100 till 300 slm.
G-Series GE250A & GE300A massflödesregulatorer är massflödesregulatorer för allmänt bruk med elastomertätning som lämpar sig för ett brett spektrum av applikationer. GE250A kan hantera fullskaleområden från 100 till 250 slm (N₂-ekvivalent). GE300A kan hantera fullskaleområden från 150 till 300 slm (N₂-ekvivalent).
Båda finns tillgängliga med antingen analog I/O eller digital I/O som använder de senaste styralgoritmerna för snabb och repeterbar respons på börvärde.
Nyckelfunktioner
- Flödeshastigheter från 100 till 300 slm
- Tätning och ventilplugg som tillval i Viton, Buna, Neoprene eller EPDM
- 1 till 2 sekunders stabiliseringstid
- Standard stängt ledningsläckage under 1,0 % av fullskala
Konduktivt kyld design
Den patenterade konduktivt kylda designen av plasmarröret möjliggör drift med hög genomströmning och hög effekt (upp till 3 kW). Det breda processfönstret gör att AX7610 kan användas i flera applikationer, från snabb PR- och polymerborttagning från 300 mm wafers till finstyrda låg-k- eller atomlager-CVD-processer.
