Utformad specifikt för load lock-miljöer kombinerar 901 Plus (901P) Loadlock-transducern (LLT) Piezo- och Micro Pirani™-teknik för vakuumavkänning. Den kombinerade utsignalen ger avsevärt högre noggrannhet, stabilitet och repeterbarhet samt snabbare svarstid än konventionella värmeledningsbaserade mätare.

Nyckelfunktioner

• Absolut tryckmätning från 1 000 till 10⁻⁵ Torr
• 3-sensorfunktion i en och samma transducer för ett brett mätområde
• Versioner med analog utgång samt RS232, RS485 och EtherCAT®
• Integrerad pekskärm som tillval för lokal tryckindikering
• Snabba, noggranna och repeterbara tryckmätningar minskar processtiden
• Tre valbara börvärden med snabb responstid för tillförlitlig processkontroll