KAPACITIVT MEMBRAN, MEMS PIRANI OCH PIEZOTRANSDUCER
 

• Mätområde från 1 × 10⁻⁶ till 1333 mbar (7,5 × 10⁻⁷ till 1000 Torr)
• Gasoberoende sensor från 5 × 10⁻³ till 1333 mbar
• Högpresterande MEMS-baserad Pirani-sensor med ultrabrett mätområde
• Robust keramisk kapacitansmembranmätare
• Omgivningstrycksrefererad utsignal
• Funktion för omkoppling vid atmosfärstryck
• Kan monteras i valfri orientering utan påverkan på prestanda
• Programmerbar spänningsutgång med emulering av andra tillverkares signaler
• Digitalt RS-232- eller RS-485-gränssnitt
• Tre solid-state börvärden för processstyrning av vakuum
• Direkt ersättare för MKS 901P loadlock-transducer
• Kompakt multisensorlösning