Beläggningssystem

Q150R Plus

Mångsidig rotationspumpsbaserad kol- och/eller sputtercoater för SEM.
En låg-vakuum coater lämplig för användning med W-SEM upp till förstoringar på ×50k med guld eller guld/palladium, eller upp till ×100k med platina (tillval kräver vakuumslang). Rekommenderas för kolbeläggning av SEM-prover för elementanalys.

Nyckelfunktioner:

  • Kan uppnå vakuum ned till 2 × 10⁻³ mbar
  • Ny pek- och swipe-kapacitiv skärm
  • USB-port för uppgraderingar och nedladdning av loggfiler
  • Flera användarprofiler kan konfigureras i en och samma enhet
  • Ny mjukvara sorterar recept per användare efter senaste användning
  • 16 GB minne kan lagra över 1000 recept
  • Flerfärgad LED-statusindikator
  • Utbytbara stage-alternativ och plug-in huvuden

Tillval

  • Filmtjockleksövervakning
  • Brett utbud av drop-in provsteg
  • Glow discharge
  • Metall-evaporation
  • Extra insatser för snabb metallväxling

Konfigurationer

  • Q150R S Plus – automatisk sputtercoater för icke-oxiderande metaller
  • Q150R E Plus – automatisk kol-coater för SEM-applikationer såsom EDS och WDS
  • Q150R ES Plus – kombinerat system för både sputtering och kolbeläggning

Rekommenderade applikationer

  • Låg och medelhög förstoring
  • Förbättring av SE-signal (≤1 nm)
  • Beläggning för bords-SEM
  • Elementanalys
  • Kopparmetallisering

Tillbehör

Sputter targets

We have a wide range of sputter targets for routine…

Carbon sources

Carbon supplies for most carbon evaporator systems, including coaters from…