Restgasanalys
MICROVISION 2
Flexibel, integrationsklar restgasanalysator
Utformad för att uppfylla alla traditionella krav för en RGA-sensor, med datainsamling i hastigheter som inte kan uppnås med tidigare generationers teknik.
Microvision 2 är konstruerad för att samla in data i millisekundhastighet per datapunkt, även vid mätning över hela RGA:ns dynamiska mätområde.
Nyckelfunktioner
- Fälttestad kvadrupol-massanalysert design
- Snabbare och mer exakta svar i applikationer med sluten reglering
- Insamling av data av högsta kvalitet med maximal hastighet
- Signaler nära brusgolvet kan fortfarande mätas tillförlitligt
Sensorer
Microvision 2 har fälttestade kvadrupol-massanalyserdesigner med förfilter och valbara efterfilter för:
- Ökad motståndskraft mot kontaminering jämfört med ett enskilt filter
- Högre känslighet vid högre massor jämfört med enkelfilter, vilket är avgörande för övervakning av många molekyler som används i CVD-processer
- Brett urval av jonkällor
- Dubbla oberoende filament som standard för att säkerställa minimal stilleståndstid vid kritisk processövervakning
- Standard dubbel detektor med både Faraday-detektor och mikrokanalplattas elektronmultiplikator för detektion ned till e-14 mbar partialtryck
Elektronik
Datainsamling sker via helsolid-state elektronik med brett dynamiskt område och snabb stabilisering av detektorn:
- Förhindrar att stora toppar ger falska positiva signaler på små toppar
- Temperaturstabiliserade kritiska komponenter med förbättrad signalstabilitet och minskad baslinjedrift gör att enheten kan användas utan frekvent omkalibrering om vakuumkammaren är stabil men omgivningstemperaturen varierar
- Variabla sensorinställningar för att matcha behoven i varje process
- Varje optimering lagras separat i RGA:n och återkallas automatiskt eller omkalibreras via mjukvarurecept
- Flexibel digital och analog I/O med en dedikerad gauge-port som standard
- Möjlighet att lägga till extra I/O-nivåer och kommunikationsportar integrerade i RGA-elektroniken
Inbyggt webbgränssnitt
Ett webbgränssnitt baserat på industristandard möjliggör styrning av Microvision 2 samt kalibrering, drift och dataexport via en plattformsoberoende webbläsare över ett nätverk.
Med dokumenterat ASCII-protokoll och TCP/IP-kommunikation kan tredjepartsprogram skicka och ta emot kommandon och data från Microvision 2.
Mjukvaruflexibilitet och skalbarhet
Utöver standardiserade inbyggda webbapplikationer finns även styrning via tre Windows-applikationer som ger optimal anpassning till kundens behov:
EasyView – grundläggande RGA-styrning med mer funktionalitet än webbgränssnittet:
- Spara RGA-data och granska i efterhand i Recall-viewer
- Annotera grafer med anteckningar sparade i datafiler
- Kör flera RGAs från ett och samma program
Process Eye Professional – fullständig kontroll av alla RGA-parametrar:
- Receptstyrning för maximal flexibilitet med enkel användning via EasyView Recipe och Recipe Wizard
- Integration med andra system via Modbus, ASCII, SECS, seriell kommunikation, TCP/IP, filutbyte m.m.
- Stöd för anpassad datainsamling, larmhantering och sluten reglering
TOOL web RGA – specialiserad integrationsmjukvara för processverktyg:
- Full integration av RGA-data med verktygsdrift och FDC-system
- Nivåer av styrning från passiv övervakning till processkritisk start/stop-styrning per kammare
- Webb-baserad rapportering för processingenjörer för optimering av verktygsdrift
