Den digitalt styrda massflödesregulatorn GV50A finns tillgänglig med antingen RS485, Profibus™, EtherCAT® eller DeviceNet™ I/O. Den digitala styrelektroniken använder de senaste MKS-styralgoritmerna för snabb och repeterbar respons på börvärde över hela enhetens reglerområde. Typiska svarstider ligger i storleksordningen 600 till 800 millisekunder. Digital kalibrering ger en noggrannhet på 1 % av börvärdet för kalibreringsgasen. I/O-protokollen är utformade för att göra det möjligt för GV50A att enkelt ersätta RS485- och DeviceNet-versioner av MKS 2179A MFC med mindre kodändringar.

GV50A har en normalt stängd avstängningsventil som ger stängning ned till 4×10⁻⁹ scc/sec heliumläckage. Den innehåller få elastomerer – endast en extern elastomertätning och en elastomer ventilplugg. Alla vätskeberörda ytor är av metall. GV50A levereras som standard med Viton®-tätningar eller som tillval med Buna, Neoprene® eller Kalrez® för olika gaskrav.

Nyckelfunktioner

• Patenterad termisk sensordesign för exceptionell nollstabilitet
• Noggrannhet i procent av börvärde möjliggör exakt processkontroll
• Inbyggt användargränssnitt – gör det enkelt att ändra enhetens mätområde och användargas samt övervaka och mäta prestanda

Rekommenderade applikationer