Öppen jonkällanalysator

Den öppna jonkällanalysatorn har dubbla filament, där det andra “reservfilamentet” möjliggör fortsatt drift vid fel på det första filamentet. Den användarservicebara analysatordesignen gör att jonkällan enkelt kan tas bort och demonteras för rengöring. Standardsystemet inkluderar en dubbel-filter-analysator för ökad känslighet för högre massarter, bättre motståndskraft mot kontaminering samt förbättrad långsiktig stabilitet.

Systemalternativ

System kan utrustas med en värmemantel och pneumatisk isoleringsventil. En 3-vägs pneumatisk ventil för manuell styrning av isoleringsinloppsventilen är standard, och valfria tryckbrytarenheter kan väljas för att på millisekundnivå detektera när en ventil öppnar eller stänger på verktyget. Detta ger Vision 2000-B-system flexibilitet att fullt ut uppfylla applikationskrav i alla vakuumbaslinje-RGA-processer.

Process Eye™ Professional styrplattform

Vision 2000-B använder Process Eye Professional, en mycket flexibel och modulär applikation som körs under 32- eller 64-bitars Windows XP, Vista, Server 2008 eller Windows 7. Plattformen är klient/server-baserad och använder TCP/IP-protokoll för full nätverkskompatibilitet.

Process Eye Professional använder “recept” för att definiera hur instrumentet skannar, visar data och reagerar på insamlad information. Recept kan konfigureras via “Recipe Wizard” och är idealiska för övervakning av återkommande processcykler.

Recept kan kopplas samman för att hantera olika övervakningsvillkor eller möjliggöra automatisk kalibrering (via fördefinierade kalibreringsrecept). Start med en knapptryckning (eller extern signal) eliminerar behovet av högkvalificerade operatörer.

Recept kan:

• Definiera data- och visningsparametrar
• Visa data samtidigt i “stapeldiagram” och trendformat för tydlig analys
• Inkludera anpassade varningar och larm vid avvikelser eller specifika händelser (t.ex. ventilöppning/stängning)
• Övervaka andra parametrar som temperatur, gasflöde, effekt och tryck via analog och digital I/O

Process Eye Professional erbjuder även “live history” för snabb analys av nyligen insamlad trenddata, där spektra kan granskas direkt via trendplot.

TOOLweb® RGA

Med TOOLweb RGA kan Vision 2000-B integreras i fullt automatiserade processmiljöer som transfer-, buffer- eller laddkammarsensor. Systemet övervakar kontinuerligt verktygsaktivitet där all sensordata kopplas till waferlogistik innan larmmodeller appliceras. Full larm- och datarapportering till FAB-host och FDC möjliggör realtidsövervakning av kammarstatus och identifiering av processavvikelser.

Applikationer

Vision 2000-B är ett applikationsspecifikt instrument utformat för att övervaka vakuumpumpdown, baslinje och leakback i halvledar- och tunnfilmsprocessutrustning samt för att upptäcka förhållanden som kan påverka produktutbyte negativt. Systemet ger även information för optimering av vakuumkvalitet genom:

• Övervakning av restgaser, inklusive luft och vatten
• Övervakning av kontaminanter, inklusive kolväten