EFM 3s har en extra elektrod jämfört med EFM 3. En del av evaporationsstrålen i alla produkter i EFM-serien joniseras av elektronstrålebombardemang under uppvärmning. De flesta av dessa joner fångas upp av fluxmonitor-elektroden.

Eftersom evaporanten har hög spänning relativt det jordade provet kan kvarvarande joner skapa defekter i substratytan och tillföra energi. För att generera en 100 % neutral stråle appliceras en extra spänning på suppressor-elektroden i EFM 3s. Denna extra spänning matas från strömförsörjningen EVC 300s eller EVC 100s.

Nyckelfunktioner:

• Evaporationsområde 4–20 mm
• Fluxmonitor
• Integrerad shutter
• Jonsuppressor (neutral evaporationsstråle)
• Degelkapacitet upp till ca 700 mm³
• Monteringsfläns NW 35 CF
• Alla övriga funktioner som EFM 3

Uppgraderingspaket för befintliga EFM 3-enheter finns tillgängliga på begäran. Alla övriga funktioner från EFM 3 behålls fullt ut.