Restgasanalys
HPQ3S
Högtrycks restgasanalysator för 0,008 torr
HPQ3S restgasanalysator möjliggör drift upp till 0,008 Torr utan behov av differentialpumpning och använder applikationsvaliderade korrigeringsalgoritmer för att kompensera för känslighetsvariationer som uppstår på grund av jon–molekyl-interaktioner i jonkällan vid högre tryck.
Den fälttestade tekniken, tillsammans med den senaste innovativa Microvision 2-elektronikplattformen, ger datakvalitet som tidigare inte setts i denna instrumentklass. Systemet är mindre komplext, kräver mindre installation och erbjuder högre tillförlitlighet till en betydligt lägre kostnad.
Nyckelfunktioner
- Övre arbetsgräns på 0,008 Torr totalt tryck
- Läckdetektion av vakuumledningar, kylmedelsledningar, svetsar och tätningar
- Applikationsvaliderade korrigeringsalgoritmer för att kompensera känslighetsvariationer
- Verifiering av processgaskvalitet
Högtrycks kvadrupolanalysatordesign
Den nya RF-designen i HPQ3 täcker massområdet 1–100 amu utan att kompromissa med kvaliteten i gasseparationen vid mycket låga eller höga massor. Den fälttestade designen för högtrycks-kvadrupolanalysator i HPQ3 behåller den robusta och kostnadseffektiva jonkällan med dubbla filament. Detta möjliggör kontinuerlig, oavbruten drift utan behov av regelbundet filamentbyte före dess normala förväntade livslängd. För specifika applikationer vid ännu högre tryck upp till 1 × 10⁻² mbar gör HPQ3S realtidskorrigeringar med hjälp av ett tryckvärde från systemet eller via olika valbara fristående mätare kopplade till en kundanpassad F-kammare optimerad för HPQ3S.
Brett dynamiskt detektorelektroniksystem
Den patenterade elektroniken med brett dynamiskt mätområde möjliggör detektion av läckor eller kontaminanter på ppm-nivå, även samtidigt som större gassignaler mäts i e-3 mbar-området. Detta är möjligt i ett enda skannings- eller peak-jump-läge med mindre än 20 ms mellan maximal och minimal signalnivå, utan behov av en dyr elektronmultiplikator som kräver frekvent kalibrering och utbyte.
- Förhindrar att stora toppar ger falska positiva signaler på små toppar
- Temperaturstabiliserade kritiska komponenter förbättrar signalstabilitet och minskar baslinjedrift, vilket möjliggör drift utan frekvent omkalibrering vid stabilt vakuum även om omgivningstemperaturen varierar
- Variabla sensorinställningar för att matcha olika processbehov vid olika tryck
- Varje optimerad sensor-konfiguration lagras separat i RGA:n och återkallas automatiskt eller omkalibreras via mjukvarurecept
- Flexibel digital och analog I/O med dedikerad gauge-port som standard
Inbyggt webbservergränssnitt
Ett webbgränssnitt baserat på industristandard möjliggör installation och styrning av HPQ3 från valfri plats i ett nätverk. Via en plattformsoberoende webbläsare är kalibrering, drift och sparande av realtidsdata i exportformat möjligt. Med dokumenterat Software Developer’s Kit, ASCII-protokoll och TCP/IP-kommunikation kan tredjepartsprogram skicka och ta emot kommandon och data från HPQ3 och HPQ3S.
Process Eye Professional
En Windows-baserad komplett mjukvaruplattform som ger full kontroll över alla RGA-parametrar:
- Receptstyrd styrning för maximal flexibilitet med enkel användning via EasyView och Recipe Wizard
- Integration med andra system via Modbus, ASCII, SECS, seriell kommunikation, TCP/IP, filutbyte m.m.
- Möjlighet till automatiserad och optimerad datainsamling, larmhantering och sluten reglering
TOOLweb® RGA
Ett specialiserat nyckelfärdigt integrationspaket (PC- eller serverbaserat) som ger optimerade metoder för att få den mest tillförlitliga informationen från RGAs och andra sensorer i processutrustning:
- Full integration av RGA-data med verktygsdrift och FDC-system
- Nivåer av styrning från passiv vakuumövervakning till processkritisk start/stopp av enskilda processkammare
- Kraftfull webb-baserad rapportering som ger processingenjörer värdefull information för att hålla utrustning i optimal drift från valfri plats i nätverket
