V-lens™-teknologi

Degas-processer använder vanligtvis inerta gaser som argon eller kväve. Användningen av dessa gaser kan vara utmanande eftersom de genererar en förhöjd baslinje i RGAs på grund av stora mängder kemiskt bakgrundsbrus orsakat av metastabilt sönderfall. Detta leder till minskad känslighet, vilket kan vara problematiskt för tillverkare som vill identifiera förändringar i spårgaser (som indikerar problem i tillverkningsprocessen) snabbt och enkelt.

V-lens-teknologi, en unik möjliggörande lösning, hjälper till att övervinna detta genom att ge en konsekvent låg massoberoende baslinje samt detektionsnivåer i låga ppb-området. Detta uppnås med unik jonoptik som använder en patenterad dubbel-fokuserings- och deflektionsmekanism som kraftigt reducerar bakgrund och ökar känsligheten.

Resultatet är en gasanalysator med detektionsgränser i låga ppb-området utan att kompromissa med någon annan del av instrumentprestandan.

Denna avancerade RGA-teknologi är integrerad med Process Eye Professional-styrplattformen, ett receptbaserat och användarkonfigurerbart mjukvarusystem. Kombinationen av V-lens, sluten jonkälla och automatiserat inlopp möjliggör känslig och reproducerbar övervakning av hela ALD-, CVD- eller etsningsprocesscykeln.

Genom att maximera förhållandet mellan processgassignaler och gasbakgrund i det differentiellt pumpade analyshuset möjliggör V-lens och den slutna jonkällan låg ppm-nivådetektion för spårkontaminanter i processgasen.

Sluten jonkälla