EFM 3Ts bygger vidare på EFM 3T genom att lägga till en extra elektrod. För att generera en 100 % neutral stråle appliceras en spänning vid utgången av EFM 3Ts, vilket fungerar som en jonsuppressor.

En del av evaporationsstrålen i alla produkter i EFM-serien joniseras av elektronstrålebombardemang under uppvärmning. De flesta av dessa joner fångas upp av fluxmonitor-elektroden. Eftersom evaporanten har hög spänning relativt det jordade provet kan kvarvarande joner skapa defekter i substratytan och tillföra energi.

Nyckelfunktioner:

• Evaporationsområde Ø 8,5, 11 och 15 mm
• Arbetsavstånd 93 mm (± 10 mm)
• 3 oberoende celler/filament/fluxmonitorer
• Ingen korskoppling vid sammansatt tillväxt
• Fluxmonitor
• Integrerad flerpositions-shutter
• Jonsuppressor (neutral evaporationsstråle)
• Monteringsfläns NW 35 CF
• Alla övriga funktioner som EFM 3

Den extra spänningen matas från strömförsörjningen EVC 300s eller EVC 100s. Vid co-evaporation kräver varje material en separat strömförsörjning. Endast en av dessa behöver ha s-konfigurationen (EVC 300s, EVC 100s).