Den digitalt styrda massflödesregulatorn GM50A finns tillgänglig med antingen analog (0–5 VDC eller 4–20 mA) eller RS485, Profibus™, EtherCAT® eller DeviceNet™ I/O. Den digitala styrelektroniken använder de senaste MKS-styralgoritmerna för snabb och repeterbar respons på börvärde över hela enhetens reglerområde. Typiska svarstider ligger runt 500 millisekunder. Digital kalibrering ger en noggrannhet på 1 % av börvärdet för kalibreringsgasen. I/O-protokollen är utformade för att göra det möjligt för GM50A att enkelt ersätta RS485-, Profibus- och DeviceNet-versioner från tidigare generationer av MKS samt många andra leverantörers MFC:er.

Ett standard 3-tums fotavtryck möjliggör användning utan att modifiera befintliga gasledningskonfigurationer. GM50A/GM51A massflödesregulator har en elektropolisherad ytfinish (GM50A massflödesmätaren är inte elektropolisherad).

Nyckelfunktioner

• Patenterad termisk sensordesign för exceptionell nollstabilitet
• Noggrannhet i procent av börvärde möjliggör exakt processkontroll
• Inbyggt användargränssnitt – gör det enkelt att ändra enhetens mätområde och användargas samt övervaka och mäta prestanda

Rekommenderade applikationer

GM50A/GM51A är massflödesregulatorer för allmänt bruk som är designade för ett brett spektrum av applikationer som kräver flödeskontroll från 10 sccm till 50 slm full skala (N₂-ekvivalent) och är även lämpliga för högrena processer.