Generella tillämpningar
P9B
Högprestanda tryckokänsliga, multigas, multirange massflödesregulatorer för flödeshastigheter från 5 sccm till 50 slm.
P9B tryckokänslig, multigas/multirange massflödesregulator har sub-750 millisekunders regleringstider och noggrannhet inom 1 % av börvärdet över ett brett spektrum av processgaser, från “lätta” gaser som helium till “tunga” gaser som SF₆.
P9B är en äkta multirange-/multigas-MFC med kapacitet för 5 sccm till 50 slm full skala, vilket minimerar behovet av lagerhållning av olika MFC-enheter.
Nyckelfunktioner
- Flödesområden från 5 till 50 000 sccm
- Tryckokänslig med integrerad trycksensor
- Multigas/multirange med 1 % noggrannhet av börvärde
- Analog I/O: 0 till 5 VDC
- Digital I/O: DeviceNet, RS485
Kort processtegsprestanda
P9B:s prestanda märks tydligt i applikationer med korta processteg tack vare sub-750 ms responstid och hög noggrannhet inom hela gasområdet, oavsett om det gäller “lätta” gaser som helium eller “tunga” gaser som SF₆.
Multigas-/multirange-funktion
Funktionen hanteras via inbyggd mjukvara och ett standard Ethernet-gränssnitt utan behov av specialprogramvara, endast en webbläsare och PC. Kritiska gasparametrar finns redan lagrade i enheten, och användaren väljer gas och flödesområde direkt i gränssnittet. Samma verktyg används för diagnostik under drift.
P Series översikt
P-Series högprestanda-MFC:er har full digital styrarkitektur för snabb respons på börvärden. Det inbyggda webbgränssnittet gör det enkelt att ändra gas och flödesområde, vilket minskar kostnader genom färre olika MFC-typer i lager.
