Förbrukningsmaterial
Sputtermål
Högpure sputtermål för ett brett spektrum av applikationer och sputtercoaters
Vi erbjuder ett brett sortiment av sputtermål för både rutinmässiga bords-sputtercoaters och specialanpassade mål för avancerade beläggningssystem.
Osäker på vilka dimensioner som passar din coater? Se urvalsguiden i resurserna nedan, eller kontakta oss – vi hjälper gärna till.
Skivtyp (disc) mål – diametrar
- Ø57 mm
- Ø54 mm
- Ø50 mm
- Ø24 mm
- Ø19 mm
- Ø60 mm (med eller utan targethållare/substrat)
- Ø58 mm (med targethållarsubstrat)
Ringtyp (annular) mål – ytter-/innerdiameter
- 82 mm / 60 mm (med stöd-ring)
- 3 tum / 2 tum (med stöd-ring)
Målmaterial
Målmaterialen nedan har olika egenskaper och lämpar sig för olika applikationer. För låg-vakuum sputtercoaters fungerar ädla, icke-oxiderande material. Bland dessa ger platina den minsta kornstorleken, men det vakuumnivå som krävs för Pt kan ibland ta lång tid att uppnå i låg-vakuumsystem.
För hög-vakuum sputtercoaters ger krom och iridium finkorniga beläggningar för högupplöst avbildning. Nackdelen med krom är att det oxiderar relativt snabbt, vilket gör det olämpligt för prover som ska arkiveras och återanvändas. Iridium är ett bättre alternativ i dessa fall, men är mindre kostnadseffektivt än krom. Optimering av sputterparametrar kan också förbättra kornstorlek och beläggningens utseende, vilket minskar risken för att viktiga detaljer i provet döljs.
Vanligt förekommande målmaterial:
- Guld (Au)
- Guld/palladium (Au/Pd)
- Palladium (Pd)
- Silver (Ag)
- Platina (Pt)
- Platina/palladium (Pt/Pd)
- Krom (Cr)
- Iridium (Ir)
- Volfram (W)
- Tantal (Ta)
- ITO
- Nickel (Ni)
- Koppar (Cu)
- Tenn (Sn)
Andra material och dimensioner finns tillgängliga. Kontakta oss för alternativ.
