Restgasanalys
HPQ3
Högtrycks restgasanalysator för 0,001 torr
Residualgasanalys (RGA) är ett rutinmässigt diagnostiskt verktyg för alla vakuumingenjörer, men den traditionella övre arbetsgränsen på 1e-4 mbar totalt tryck är begränsande för många processapplikationer. HPQ3 RGA möjliggör drift upp till 0,001 Torr utan behov av differentialpumpning.
Den fälttestade tekniken i HPQ-analysatorn, tillsammans med den senaste innovativa elektronikplattformen från Microvision 2-familjen, ger datakvalitet som tidigare inte setts i denna instrumentklass. Systemet är mindre komplext, kräver mindre installationsarbete och erbjuder högre tillförlitlighet till en betydligt lägre kostnad.
Nyckelfunktioner
- Övre arbetsgräns på 0,001 Torr totalt tryck
- Läckdetektion av vakuumledningar, kylmedelsledningar, svetsar och tätningar
- Övervakning av kontaminanter i kammaren, inklusive kolväten
- Verifiering av kvaliteten på processgaser
Högtrycks kvadrupolanalysatorer
Den nya RF-designen i HPQ3 täcker massområdet 1–100 amu utan att kompromissa med kvaliteten i separationen av gaskomponenter vid mycket låg eller hög massa. Den fälttestade High Pressure Quadrupole-analysatordesignen i HPQ3 behåller den robusta och kostnadseffektiva jonkällan med dubbla filament. Detta möjliggör kontinuerlig drift utan avbrott och utan behov av regelbundet filamentbyte före dess normala livslängd. HPQ3 kan användas i processer där data krävs upp till ett totalt tryck på 1,3 × 10⁻³ mbar.
Brett dynamiskt detektorelektroniksystem
Den patenterade elektroniken med brett dynamiskt mätområde möjliggör detektion av läckor eller kontaminanter i nivåer av några ppm, även samtidigt som stora gassignaler mäts i e-3 mbar-området. Detta är möjligt i ett enda skanningsläge eller peak-jump-datainsamling med mindre än 20 ms mellan maximal och minimal signalnivå, utan behov av en dyr elektronmultiplikator som kräver frekvent kalibrering och utbyte.
- Förhindrar att stora toppar ger falska positiva signaler på små toppar
- Temperaturstabiliserade kritiska komponenter förbättrar signalstabilitet och minskar baslinjedrift, vilket möjliggör drift utan frekvent omkalibrering vid stabilt vakuum även om omgivningstemperaturen varierar
- Variabla sensorinställningar för att matcha olika processer vid olika tryckförhållanden
- Varje optimerad sensor-konfiguration lagras separat i RGA:n och återkallas automatiskt eller omkalibreras via mjukvarurecept
- Flexibel digital och analog I/O med dedikerad gauge-port som standard
Inbyggt webbservergränssnitt
Ett webbgränssnitt baserat på industristandard möjliggör installation och styrning av HPQ3 från valfri plats i ett nätverk. Via en plattformsoberoende webbläsare kan kalibrering, drift och export av realtidsdata till olika filformat utföras. Med dokumenterat Software Developer’s Kit, ASCII-protokoll och TCP/IP-kommunikation kan tredjepartsprogram skicka och ta emot kommandon och data från HPQ3 och HPQ3S.
Process Eye Professional
En Windows-baserad komplett mjukvaruplattform som ger full kontroll över alla RGA-parametrar:
- Receptstyrd styrning för maximal flexibilitet kombinerat med enkel användning via EasyView och Recipe Wizard
- Integration med andra system via Modbus, ASCII, SECS, seriell kommunikation, TCP/IP, filutbyte m.m.
- Möjlighet till automatiserad och optimerad datainsamling, larmhantering och sluten reglering
TOOLweb® RGA
Ett specialiserat, nyckelfärdigt integrationspaket (PC- eller serverbaserat) som ger optimerade metoder för att få tillförlitlig information från RGAs och andra sensorer i processutrustning:
- Full integration av RGA-data med utrustningsdrift och FDC-system
- Flera nivåer av styrning, från passiv vakuumövervakning till processkritisk start/stopp av enskilda processkammare
- Webb-baserad rapportering som ger processingenjörer värdefull information för optimering av utrustningens drift från valfri plats i nätverket
