Utrustad med tre sputterhuvuden för att säkerställa jämn deponering på enskilda stora prover upp till 8″/200 mm eller flera prover över ett liknande område. Idealisk för tunnfilmsapplikationer och SEM/FE-SEM.

Nyckelfunktioner

• Slutvakuum på 1 × 10⁻⁶ mbar eller bättre möjligt
• Ny pek- och swipe-kapacitiv skärm
• USB-port för uppgraderingar och nedladdning av processloggfiler
• Flera användarprofiler kan konfigureras i samma system
• Ny mjukvara sorterar recept per användare efter senaste användning
• 16 GB minne kan lagra över 1000 recept
• Flerfärgad LED-statusindikator
• Utbytbara stage-alternativ
• Tre sputterhuvuden för större ytdeponering av olika material

Rekommenderade applikationer

• Wafer-inspektion
• Provberedning av flera SEM-prover