Aktiva tryckgivare

972B DUALMAG™ KALLKATOD- OCH MICROPIRANI™ VAKUUMTRYCKTRANSDUCER

972B DualMag™ vakuumtransducer erbjuder ett mätområde från 1×10⁻⁸ Torr till atmosfärstryck och kombinerar kallkatodisk inverterad magnetronteknik med Micro Pirani™ MEMS-baserad värmeledningssensor. Micro Pirani™ styr automatiskt kallkatodsensorn för att säkerställa optimalt tändtryck, samtidigt som den ger ett 1–2 dekader lägre mätområde än en traditionell Pirani-mätare. Genom att sänka aktiveringstrycket för kallkatodmätaren förbättras tillförlitligheten och serviceintervallet förlängs.

Nyckelfunktioner

  • Absolut mätområde från 10⁻⁸ Torr till atmosfärstryck
  • Kallkatodens anodmodul är användarservicemässig för att minska stilleståndstid
  • Kommunikation via RS232, RS485 eller EtherCAT®/analog
  • MEMS-baserad Micro Pirani™-sensor ger lågt automatiskt tillslagstryck för kallkatod
  • Micro Pirani™ nollställs automatiskt under pumpningscykeln för förbättrad noggrannhet
  • Kompakt design med litet fotavtryck ger en utrymmeseffektiv transducerlösning

Tillbehör

AGC-100/AGD-100

Single channel active gauge display and control unit